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等離子清洗機- PCE-80

簡要描述:PCE-80是一款較大型的等離子清洗機,等離子腔體為 8.5 “dia x 12““L的石英腔體,采用的射頻電源功率0 - 100W連續可調節。此款設備主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等)。對于基片的清洗以及薄膜處理此款設備是較為理想的實驗幫手。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-02-21
  • 訪  問  量:2326

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詳細介紹



技術參數

輸入電源

  • AC 220V , 50/60 Hz, 
  • zui大射頻功率: 100 W 
  • 真空泵功率: < 500W
  • 總功率: < 600W

射頻功率

  • 射頻功率可在 0 - 100W之間調節
  • 射頻:   13,56 MHz
  • 可以與本公司工作人員采用300W或500W的射頻電源,來進行等離子刻蝕和等離子灰化等實驗

等離子腔體

  • 8.5" O.D x 8.2" I.D x 12.5" L 高純石英腔體
  • 鋁制折疊式法蘭來進行真空密封
  • 法蘭上有一個直徑為60mm的觀察窗口

控制面板

  • 通過6" 彩色觸摸屏,可控制射頻功率、真空泵的開啟、清洗時間和氣體流量等.
  • 儀器內部安裝有一0 - 500ml/minute質量流量計,可精確地控制進氣流量

真空泵

  • 儀器中包括一臺240L/min直聯式雙旋真空泵、KF25波紋管以及KF25的手動擋板閥。
  • 極限真空度為50mTorr



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通入氣體

等離子腔體中可以通入多種氣體來產生等離子,如N2, Ar, Air,H2、O2和混合氣體等等(根據材料性質所定)

可選

  • 可選購 2" - 6" 石英舟來盛放基片
  • 可選購2-4通道質子或浮子混氣系統

外型尺寸

620 L ×450 W ×600 H, mm

質保期

一年質保期,終生維護

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