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小型等離子清洗機--PCE-6

簡要描述:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-02-22
  • 訪  問  量:2682

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詳細介紹

        PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

 

技術參數

主要特點

  • 通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
  • 時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數碼管上。
  • 設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體。
  • 選用大功率色射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

參數

  • 電源:AC220V  50/60Hz
  • 輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 總功率:<600W 
  • 射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調節
  • 等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Φ45mm 的觀察窗
  • 真空泵:24L/min,直連式雙旋真空泵
  • 極限真空度:50mtorr
  • 通入氣體:可通入多種氣體來產生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據材料性質選定)

產品規格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

可選配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道質子或浮子混氣系統

質保期

一年質保期,終身維護

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