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可自動掃描等離子表面處理儀--GSL1100XPJF-A

簡要描述:GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結合在一起的產品,有自動控制的樣品臺,就可使等離子槍按設定程序對樣品表面進行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統是由RF發生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統產生等離子束可在非真空和低溫狀態下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學元件和塑料等,也可在常壓下進行等離子

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-02-22
  • 訪  問  量:1919

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詳細介紹

     GSL-1100X-PJF-A是等離子槍和可控制的樣品臺結合在一起的產品,有自動控制的樣品臺,就可使等離子槍按設定程序對樣品表面進行更均勻涂覆和處理,保證處理樣品表面的*性和均勻性。此系統是由RF發生器、氣體傳輸管、等離子槍頭和X-Y移動的工作臺(帶有真空吸盤和控制盒)。此系統產生等離子束可在非真空和低溫狀態下活化和清洗樣品表面,可處理的樣品有單晶片,光學元件和塑料等,也可在常壓下進行等離子增強氣相沉積。

 

技術參數

輸入電源

208 V- 240VAC, 50/60 Hz, < 1000W

RF發生器

  • 輸出頻率:20-23kHz , 25KV
  • 等離子槍頭:儀器中包括兩種等離子槍頭:圓形頭:10-12mm,矩形頭:15-18mm

輸入氣體氣壓,工作氣體

  • 40 PSI min.(0.055 Mpa)
  • Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

等離子體工作壓力

7- 10 PSI

工作環境

溫度 < 42°C,濕度 ≤ 40℃RH

樣品臺和控制柜

  • 配有可在X-Y軸移動的樣品臺,通過步進電機驅動,采用SBC控制盒控制
  • 可手動調節樣品臺在Z軸方向上的移動距離
  • 控制盒采用LCD顯示,可設置其等離子槍頭的掃描程序。
  • zui大掃描范圍:8" x 9"
  • 一個直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺上,可吸住直徑為6"的樣品。
  • 配有一真空泵,可與真空吸盤相連接
  • 整個系統安裝在一移動架上(600x600x 800Lmm
  • 可選:可選加熱樣品臺(zui高溫度可加熱到500℃),也可將設備放置在手套箱中操作。
      

尺寸&重量

  • 處理樣品臺尺寸:560mm L x483mm W x 609mm H
  • 等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
  • 控制盒尺寸:330mm L x 305mm W x 152mm H
  • 重量:55kg
操作視頻點擊查看

質保&質量認證

一年質保期,終生維護

CE認證

 

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