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當前位置:首頁   >  產品中心  >  CVD、PECVD設備  >  CVD管式爐  >  OTF-1200X-5L-R-CVD5英寸旋轉CVD管式爐

5英寸旋轉CVD管式爐

簡要描述:OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉CVD爐。爐體有3個加熱區,可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統。此款管式爐設計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設備相關論文(點擊查看)

  • 產品型號:OTF-1200X-5L-R-CVD
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-02-22
  • 訪  問  量:3855

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詳細介紹

 OTF-1200X-5L-R-CVD是一款旋轉CVD爐。爐體有3個加熱區,可提高溫度均勻性,同時配有4通道的精密混氣系統。此款管式爐設計主要用于電池粉體材料表面包覆或其他粉體材料表面修飾。設備相關論文(點擊查看)

 

技術參數

爐體結構

  • 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統
  • 采用高純氧化鋁作為爐膛材料,可以zui大程度減小能量損失
  • 直流電機帶動石英管轉動,其轉速為0 - 10 RPM
  • 爐體可傾斜角度為30°
  • 爐體設計為開啟式,以便于操作和對樣品進行快速冷卻

加熱區

  • 三個溫區總長度:600mm
  • 溫區 1: 150 mm  ( 6")
  • 溫區 2: 300mm  ( 12")
  • 溫區3: 150 mm ( 6")
  • 恒溫區為:450mm@+/-2℃(三個溫區設置同樣的溫度)

 

  • 儀器中包含一根石英管
  • 尺寸:130 mm O.D. x 120 mm I.D. x 1200 mm L + 60 O.D mm (兩端直徑 )
  •    
  • 儀器中包含一套不銹鋼真空法蘭(上面已經安裝了不銹鋼針閥)

接頭

  • 進氣端接口:Φ6.35的卡套接口
  • 出氣端接頭:Φ12的寶塔嘴接頭

工作溫度

  • 連續使用溫度:1100℃
  • zui高工作溫度:1200℃< 1 h

溫控系統

  • 三個溫區采用三個溫控系統獨立控制,都是采用PID方式調節,可以設置30段升降溫程序
  • 爐體上安裝有RS485接口,可選購控溫模塊,采用電腦控制爐體升溫

熱電偶

  • 三根 Omega K 型鎧裝熱電偶

真空泵和冷井

  • 配有一雙極旋片真空泵,上面安裝有油霧過濾器
  • 可以選購冷井,防止實驗中的沉積物損害真空泵
  •  

供氣系統

  • 4通道精密氣體控制系統,采用質量流量計,觸摸屏控制,可同時通入1-4種不同氣體
  • 注意:如果通入的是易燃易爆型氣體,必須將設備安裝在通風柜中

zui大功率

4KW

電壓

208 - 240V單相(需要30 A 的空氣開關)

質保

一年質保期,終生維護(不含爐管,密封圈和加熱元件)

質量認證

  • CE認證
  • 所有電器元件(>24V)都通過UL / MET / CSA認證
  • 若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證
  •      

凈重

130kg

應用注意事項

  • 此套設備可以配合本公司連續送料裝置來達到連續進料的效果
  •  

警告

  • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
  • 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全
  • 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態
  • 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊
  • 石英管的長時間使用溫度<1100℃
  • 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)
 

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